60升 干法清洗设备等离子清洗活化设备
| 参考价 | ¥ 30000 |
| 订货量 | ≥1台 |
- 公司名称 北京信利泰科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 60升
- 产地 北京
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/7/22 10:54:13
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1. 主机柜：
l 宽： 约 600 mm
l 高： 约 1700 mm
l 深： 约 800 mm
2. 真空舱体：
l 舱体材质： 舱体：不锈钢
舱门：铝合金
l 舱体内部尺寸： 宽：约 305mm
高：约 300 mm
深：约 370mm
l 舱体后板上有 KF40 法兰的抽真空空和 KF16 法兰的真空计接口和排气口
l 舱门上有观察窗 1 个
l 真空舱体与真空泵之间安装有真空阀
3. 工艺气体：
l 2 路工艺气体由质量流量控制器（ MFC ）控制
l 1 路清洗气体
l 真空压力检测使用皮拉尼真空计
4. 射频电源：
l 射频电源： 1 台
l 电源输出频率： 13.56MHz
l 电源输出功率： 0 –500 W
l 射频电源配备自动匹配器
l 安全保护： 舱门安全开关
电源高温保护开关
真空度检测开关
5. 电极与托盘
l 3 组电极，电极与样品托盘水平对称放置
6. 控制系统
l 设备通过 PLC 和触摸屏控制
l 控制系统安装在触摸屏的工控机内 t
l 输入与输出电流隔离，高抗干扰性
l 2 中控制模式：手动模式：通过触摸屏点击手动操作
l 自动模式：通过编辑程序实现自动操作 :
l 可编辑参数：工艺气路选择；
启动工艺气体真空度；
工艺气体流量；
工艺气体通入舱体内稳定时间；
启动射频电源真空度；
射频电源功率；
等离子处理时间；
清洗时间；
通风时间。
l 自动模式下所有工艺步骤实时显示
l 舱体关闭状态，真空压力，射频反射功率过大安全联锁
l 真空压力曲线显示
l 故障报警系统
7. 设备连接
l 工艺气体： 6 mm 双卡套接头
l 设备供电： 220 V / 16 A / 50-60 Hz
l 排气： KF25 标准接口
8. 莱宝油式 真空泵：
l 抽速：约 16m3/h
l 极限真空度： 约 0.01mbar
l 电机输出功率： 0.6KW
l 供电连接： 220V
l 噪音值： 60dB （ A ）使用气镇阀时 66dB （ A ）
l 抽气口：标准 KF25 法兰
l 排气口：标准 KF25 法兰
l 冷却方式：风冷
l 工作环境温度： 5-40 ℃
采购中心
化工仪器网