LT-400G 过程臭氧分析仪半导体干法清洗设备专用
- 公司名称 青岛朗科电子科技有限公司
- 品牌 Lontec/青岛朗科
- 型号 LT-400G
- 产地 山东省青岛市崂山区株洲路188号
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/11/14 9:32:44
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过程臭氧分析仪半导体干法清洗设备专用 是一款针对测量高浓度臭氧的气体检测模块，用于检测工业过程中的气态臭氧浓度。基于紫外分光吸收原理设计，利用臭氧气体对特定紫外线吸收力的大小不同，来达到臭氧浓度检测的目的，采用耐高压冲击的检测腔室结构及恒温控制设计，具有精准性和可靠性。
应用领域
本仪器主要应用于测量半导体晶片制造、水处理和臭氧研究等过程中产生的气态臭氧浓度，测量范围可达到 0-400mg/L 。
产品特
点
①
高稳定性；
② 采用自动控制系统；
③ 高纯度接触材料设计；
④
温度、压力
、
光源
实时
补偿
，在不同环境下数据稳定准确；
⑤ 气路直线设计，使得产品安装更为方便；
⑥ 密封圈采用全氟醚材质，更耐臭氧腐蚀。
过程臭氧分析仪半导体干法清洗设备专用技术
参数
量
程：
0-
4
0
0mg/L
精
度
：
1%F.S
重
复
性
：
1%F.S
零
漂
移：
1%F.S/月
响应时间
：
2秒到95%
气体流量： 0.5-25L/min
压力范围：
0-115psi
模拟输出
：
0-5V
串口通讯： RS485，波特率9600bps
电源输入： 15V
接 口 ： 316L不锈钢1/4VCR接头
预热时间： 15min
工作温度： 5～45℃
标准温度：
0℃
尺
寸：
170
*
55
*1
34.9
mm
重
量：
1.1
k
采购中心
化工仪器网