DST1-L 至 DST3：真空室为圆柱形耐热玻璃，外径为 300 mm，高度为 200 mm （DST1-4） / 外径为 170 mm x 高度为 140 mm
（DST1-2）。配有一个内部安装的涡轮分子泵，由隔膜泵提供支持，该隔膜泵可引入清洁真空，而不会产生普通扩散泵通常存在的油污染。

DST1-300 涡轮泵浦溅射镀膜机

• 高真空涡轮分子泵。

• 隔膜前级泵。

• 全系列真空计。

• 高精度石英晶体厚度监测器。

• 直观的触摸屏，用于控制涂层过程和快速数据输入

• 用户友好型软件，可通过网络进行更新。

• 控制涂层速率以获得更精细的晶粒结构。

• 手动定时和厚度溅射。

• 能够记录和绘制涂层参数图表。

• 自动或半自动控制。

• 配备电子快门。

• 易于更换的样品台（旋转台为标准）。