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精品网站在线免费观看牛津电子束镀膜机的日常维护与保养指南

来源：上海骐锐信息科技有限公司 2025年05月26日 11:34

　　牛津电子束镀膜机的日常维护与保养指南如下：

　　一、日常维护

　　清洁真空室：

　　定期清洁真空室，避免污染物积累影响镀膜质量。

　　清洁时，尽量抹干并烘干，确保真空室内部干燥。

　　检查油液：

　　定期更换扩散泵油、真空泵及罗茨泵油，确保泵体正常运行。

　　更换前需确认真空度和油温状态，避免产生安全问题。例如，更换扩散泵油前一定要确认真空度是否低于1×10²Pa，且扩散泵里面的油温是否冷却到常温状态。

　　检查密封圈：

　　经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈。

　　定期给动密封处加上真空脂，以保持密封性能。

　　检查电气元件：

　　定期检查电气元件，清除灰尘。

　　更换烧坏的元器件，确保电路正常运行。

　　检查水路与气路：

　　定期检查水路、气路是否正常，确保无漏滴现象。

　　在寒冷季节或长时间停机时，需用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵体，以免冻裂。

　　保持真空状态：

　　平时整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，避免真空室长期暴露在大气中。

　　二、保养指南

　　记录使用信息：

　　在使用过程中，如实记录必要的信息，如开机时腔体的真空度、蒸镀前所抽至的最低真空度等。

　　定期检查真空管道和阀门：

　　定期检查真空管道和阀门，确保无泄漏现象。

　　注意操作安全：

　　操作人员应穿着整洁，袖口扣紧，避免穿戴拖鞋、高跟鞋等可能影响安全的服饰。

　　在操作过程中，应严格遵守设备操作规程和安全操作规程。

　　正确关闭设备：

　　镀膜完成后，按照正确的顺序关闭设备，如先关闭电子束高压开关，再关闭总电源等。

　　处理停机情况：

　　设备中途停水、停气或停电时，应立即采取相应措施，如关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵等，让维持泵继续运行，以保护设备。

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