自由曲面三维面型检测仪

自由曲面三维面型检测仪

优势

√ 对各种自由曲面光学元件的表面进行非接触全口径测量

√ 简单、精确、快速、可重复的测量方式，表面无需喷粉处理

√ 自动完成数据比对分析误差，完善的三维分析功能

测量功能

√ 三维面型数据测量

√ 面型逆向分析

√ 面型轮廓精度评价

适用对象

自由曲面反射镜、曲面盖板玻璃、精密模具、玻璃面板、透镜、微透镜阵列、 晶圆片等

测量原理

√ 结构光反射三维重构原理： 多相机拍摄经被测镜面反射的变形的结构光图案，通过重构 算法计算被测镜面的三维面型，通过与理想面型数据进行比对，获得自由曲面的面型误差分 布和其它分析数据

√ 采用优化系统结构设计、高精度标定方法和先进的重构算法实现高测量精度

从 600mm口径的大反射镜，到1mm口径的微透镜阵列，自由曲面测量系统提供全面的面型测量能力。

测量分析软件

具有丰富分析功能同时易用性强的三维测量分析软件，包括： 三维轮廓误差 PV 、 RMS 、表面 瑕疵、曲率、斜率、尺寸分析、各种多项式拟合、空间滤波和各类数据导 出

自由曲面三维面型检测仪