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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>硅片制备/晶体生长设备>单晶炉>FZ-T-10000-H 高温高压光浮区单晶炉/日本CSC

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FZ-T-10000-H 高温高压光浮区单晶炉/日本CSC

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户: 华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院, 中科合肥智慧农业协同创新研究院 等。

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

高温高压光学浮区炉

 日本CSC司推出的高温高压光学浮区法单晶炉能够提供2200℃以上的生长温度,晶体生长腔压力可达300bar,甚至10-5mbar的高真空。适用于生长各种超导材料单晶,介电和磁性材料单晶,氧化物及金属间化合物单晶等。

模型fz - t - 10000 h -八世(vpo)电脑

卤素灯系统

灯和镜子的数量4个

镜子数量4片

大气

压力

压力0.95 MPa

真空6.7×10-3Pa (5×10-5 Torr)

(石英管)

常压φ 50mm / 365 mm长/ 2mm厚

高压φ 50mm / 365 mm长/ 5mm厚

轴密封为o型密封圈

Max。温度2200℃

常温1850℃

灯功率1200w (300W × 4个灯)

4,000W (1,000W x 4盏灯)

6,000W (1,500W × 4盏灯)

镜台/轴镜台与上轴垂直转移

周围温差

杆面

<30℃

灯具冷却空气

镜面冷却空气

Max。晶体长度(mm) 150

Max。进给长度(mm) 150

生长罕见缓慢移动0.01~300mm/hr

生长速度快移6~150mm/min

轴转速5~100rpm

监控CCD摄像头和LCD

控制系统计算机LabVIEW / Windows 10(带远程控制功能)

手动Hand-control-box

①5L/min氩气流量计(*1)

②500cc/min氧流量计

③10L/min带压缩机的空气流量计

公用事业电力3相200V, 40A

水冷:3 ~ 5 l / min

尺寸(mm)主体W850×D760×H1950

控制箱W605×D760×H1700

备注:

1. 可选灯功率:150W / 500W / 750W

2. (*1)可更改其他类型的气体和流量。

3. 质量保证:

Crystal Systems Corporation保证自安装之日起一(1)年内有效,但以下情况除外

不正常使用。(1)灯(2)镜子(3)石英管等玻璃器皿不在保修期内。




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