PLD/Laser-MBE 脉冲激光沉积/分子束外延联用系统

脉冲激光沉积 / 分子束外延联用系统

  脉冲激光沉积（PLD ）是一种用途非常广泛的薄膜及纳米结构的制备方法。其已成功地应用于各种复杂氧化物、氮化物和多元素材料等的薄膜制备。近年来，激光薄膜制备已发展到了分子束外延的水平，即激光分子束外延 （Laser-MBE） 。 Laser-MBE 使得激光薄膜生长达到了*的水平，如重构、杂质晶相及岛状生长等等。通过与国内外高校的横向合作，我们可以根据用户需求，为用户定制 PLD/Laser-MBE 联用系统。此外，我们也能定制磁控溅射及热蒸发等镀膜设备。

         该系统具有很高的加热效率（腔体受热少）及真空度，因而能够保持低的污染水平及高稳定的工作性能。所集成的RHEED 图像调节方便，快捷。系统操作简便，数分钟即可完成靶源和样品的更换。另外，本系统具有大的有效抽速，可以保持非常高的使用效率。

马建行博士在Oak Ridge 国家实验室建立的 Laser-MBE 系统（附 1 ），在上*实现了（过渡金属氧化物薄膜的）达原子分辨率级的 STM 原位观察，为过渡金属氧化物性质的微观机理研究开辟了新的途径。另外，他为 UCR 物理系研制的多功能 Laser-MBE 系统（附 2 ）也被成功地应用于各种超晶格、多层膜的制备及器件物理的研究。

1. J. X. Ma et al, Phys. Rev. Lett. 95, 237210（2005）

2. H.Y. Zhai, J. X. Ma et al, Phys. Rev. Lett. 97, 167201（2006）