等离子体表面处理机器是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态,利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。等离子体表面处理机器的用于生物医用材料的表面清洗、等离子灭菌消毒、聚合、刻蚀、沉积
等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合,通过等离子清洗机的表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗机表面接枝与聚合
等离子清洗机的表面接枝,等离子体清洗机在对材料表面改性中,由于等离子体中活性粒子对表面分子的作用,使表面分子链断裂产生新的自由基、双键等活性基团,随之发生表面交联、接枝等反应
等离子清洗机的表面聚合作用,在使用等离子体活性气体时,会在材料表面聚合产生一层沉积层,沉积层的存在有利于提高材料表面的粘接能力。
在等离子体清洗机表面活化产生的基团或等离子体引发聚合层不能与材料表面牢固结合时,采用等离子体清洗机接枝的方法来改善。等离子体接枝的原理为:首先利用表面活化在材料表面产生新的活性基团,利用此基团与后续的活性物质产生化学共价键结合,后续的活性物质中带有能够满足应用的特定基团,以达到既能满足表面特性又能牢固结合的目的。
等离子处理机适合各种基片、粉体或颗粒状材料的表面改性、活化处理,接枝与聚合,包括:清洗、活化、刻蚀、去胶、接枝与涂镀等工艺。
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