等离子清洗机表面处理设备具有成本低、无废弃物、无污染等显著优点,同时可以得到传统的化学方法难以达到的处理效果;目前低温等离子清洗机表面处理设备被广泛应用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域。
等离子清洗机IC半导体行业清洗活化能,去除表面胶渣提高流动增强灌胶均匀性结合性
等离子清洗机适用于对原料和半成品每一步可能存在的杂质进行清洗,以避免杂质影响产品的质量和下游产品的性能,等离子清洗设备对于单晶硅的生产、光刻、刻蚀、沉积等关键工艺以及封装工艺中的使用都是不可少的。
在半导体器件的生产过程中,受材料、工艺以及环境的影响,晶圆芯片表面会存在肉眼看不到的各种微粒、有机物、氧化物及残留的磨料颗粒等沾污杂质,而等离子清洗机是非常适合的工艺方法。在不破坏晶圆芯片及其他所用材料的表面特性、热学特性和电学特性的前提下,清洗去除晶圆芯片表面的有害沾污杂质物,对半导体器件功能性、可靠性、集成度等显得尤为重要
等离子清洗机并不会破坏被处理的材料或者产品的固有特性,发生改变的仅仅是表面纳米级的厚度,被清洗的材料或产品表面污染物被去除,分子键打开后极其微小的结构变化,形成一定的粗糙度或者是在表面产生亲水性的官能基,使得金属焊接的可靠性增强、不同材料之间的结合力提高等,从而提高产品的信赖度、稳定性,延长产品的使用寿命。
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