精品视频一区二区三区 KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特点
工艺耐性好:属于 SDH 系列,具有 Super Hirsch 对应和工艺耐性的特点,能适应各种复杂工艺环境。
无油干式设计:采用无润滑油机械结构,可避免介质污染,适用于如半导体晶圆制造等超洁净工艺环境。
氮气吹扫功能:支持氮气吹扫功能,氮气流量可在 0 至 80SLM 范围内调节,增强了工艺灵活性。
抽气能力较强:最大抽速可达 30,000L/min,极限压力为 0.5Pa,能快速有效地抽取气体,满足不同应用场景的真空需求。
高效节能:通过新型加热器系统与机械结构优化,实现低功耗化,功率为 3.3kW。
外形尺寸紧凑:长度为 910mm、宽度为 420mm,高度为 900mm,机身较为小巧,节省安装空间。
冷却水需求低:冷却水流量仅需 4.0L/min,对冷却系统要求不高,可降低运行成本和设备复杂度。
安全可靠:符合工业安全标准,配备高安全性防护设计,能在工况下稳定运行。
产品兼容性好:支持与同系列设备协同工作,可扩展应用场景,例如可与 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。
应用领域广泛:适用于化工、电子 / 电池、半导体制造、实验室等领域,可用于晶圆加工、蚀刻等关键工艺的真空环境控制,以及高纯度实验环境及腐蚀性气体处理。
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