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精品网站在线免费观看 KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH6000的特点
工艺耐性强：属于 SDH 系列，具有 Super Hirsch 对应和工艺耐性的特点，能适应各种复杂工艺环境。
无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造等。
氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在 0 至 80SLM 范围内调节，增强工艺灵活性。
抽气能力强：最大抽速可达 60,000L/min，极限压力为 0.5Pa，能快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。
高效节能：通过新型加热器系统与机械结构优化，实现低功耗化，功率为 3.7kW。
外形尺寸较大但仍紧凑：长度为 1050mm、宽度为 515mm，高度为 950mm，机身相对较大，但考虑到其性能，整体设计仍较为紧凑，在同类型产品中具有一定的空间优势。
冷却水需求低：冷却水流量仅需 4.0L/min，对冷却系统要求不高，可降低运行成本和设备复杂度。
安全可靠：符合工业安全标准，配备高安全性防护设计，能在工况下稳定运行。
产品兼容性好：支持与同系列设备协同工作，可扩展应用场景，例如可与 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。
应用领域广泛：适用于化工、电子 / 电池、半导体制造、实验室等领域，可用于晶圆加工、蚀刻等关键工艺的真空环境控制，以及高纯度实验环境及腐蚀性气体处理。
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