美萨科技(苏州)有限公司与大塚电子强强联手,共拓精密仪器市场
——聚焦半导体检测技术,赋能**制造升级
苏州——美萨科技(苏州)有限公司(以下简称“美萨科技")近日宣布与日本大塚电子(OTSUKA ELECTRONICS)达成深度合作,双方将联合推广大塚电子旗下**精密检测设备,重点布局半导体、光学薄膜及新能源电池领域,助力中国制造业智能化升级。
美萨科技作为苏州本土综合性贸易商,长期专注于半导体、仪器仪表等领域的技术引进与供应链服务。其代理的日本品牌产品覆盖光谱仪、膜厚检测仪等**设备,与大塚电子的核心技术高度契合。大塚电子作为****的精密测量仪器制造商,其光谱椭偏仪、膜厚分析仪等产品在半导体工艺控制、光学薄膜研发中具有显著优势。
核心参数
OPTM-A1:230~800 nm
OPTM-A2:360~1100 nm
OPTM-A3:900~1600 nm
波长范围:
膜厚范围:1 nm~92 μm(不同型号覆盖范围不同)
测量速度:1秒/点,支持高速分析
三、用途:
适用于界面化学、无机物、半导体、高分子、生物、药学、医学领域中,除了微粒子外,膜及平板状样品的表面科学的基础研究、应用研究。
四、ELSZ-neo SE:纳米级精准测量,赋能**材料研发
1.核心技术突破
ELSZ-neo SE是2022年推出的ELSZ-neo系列升级版,继承了前代产品的多角度散射技术(前方/侧方/后方测量)与动态光散射法,新增以下功能:
高盐浓度环境适配:通过特殊涂层设计的平板固体样品池,实现**生理盐水等高盐浓度环境下的Zeta电位精准测量,突破传统仪器在生物样本(如蛋白质溶液、细胞外基质)中的检测局限。
微流变学分析集成:新增静态光散射模块,可同步测量聚合物、蛋白质等样品的粘弹性特性,为药物递送系统、水凝胶材料开发提供关键数据支持。
超微量样品池:支持3μL极小样品量检测(上一代为130μL),大幅降低珍贵生物样本的消耗,尤其适用于单细胞分析、体外诊断试剂研发。
2. 跨领域应用场景
半导体:精确分析光刻胶、介电常数材料的粒径分布与表面电荷,优化芯片制造中的涂布工艺。
生物医药:研究纳米药物载体(如脂质体、外泌体)的稳定性,加速抗癌药物递送系统的临床转化。
新能源:评估锂离子电池电解液添加剂的分散性,提升电池循环寿命与安全性。
1. 性能全面升级
OPTM系列是基于显微光谱法的非破坏性膜厚测量仪,2025年新款机型(OPTM-A1/A2/A3)在以下维度实现飞跃:
超广波长覆盖:新增900~1600nm波段(OPTM-A3),支持 SiC功率器件、红外光学薄膜的厚度分析,填补传统设备在宽禁带半导体检测中的空白。
亚微米级精度:最小测量光斑仅3μm(上一代5μm),可精准解析彩色滤光片(RGB层)、抗反射膜等微结构薄膜的厚度均匀性。
自动化集成方案:标配XY自动平台,支持200mm×200mm范围内多点快速映射检测,单次测量时间缩短至1秒/点,满足OLED面板产线的高效质检需求。
2. 行业解决方案落地
显示面板:针对OLED柔性屏的PI基底、ITO透明导电膜进行全自动化在线检测
半导体:精确测量SiO₂、SiN等绝缘膜的厚度及光学常数(n/k值),为FinFET、GAA晶体管工艺提供关键参数反馈。
汽车工业:检测DLC(类金刚石碳)涂层在汽车零部件上的耐磨性。
大塚电子表示,ELSZ系列与OPTM系列的结合可形成“纳米颗粒-薄膜-器件"全链条检测生态:
材料研发阶段:ELSZ-neo SE分析纳米材料的粒径与表面特性;
工艺控制阶段:OPTM系列监控薄膜沉积均匀性;
成品验证阶段:两者协同确保半导体器件、光学元件的性能达标。
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