光刻胶是一种在半导体制造和微细加工领域中至关重要的材料。它主要由光引发剂、树脂、溶剂等基础组分组成,并根据其响应紫外光的特性,可以分为正胶和负胶两种类型。正胶在曝光前对显影液不可溶,而曝光后变得可溶,能够产生高分辨率和良好对比度的图案。相比之下,负胶在曝光前可溶,曝光后不可溶,具有较好的粘附能力和抗刻蚀能力,但其分辨率相对较低。
光刻胶的种类繁多,每种光刻胶都有其特定的应用领域和特点。托托科技提供了一系列适用于不同行业的高性能光刻胶产品,这些产品在半导体制造中扮演着至关重要的角色,主要用于精确地将电路图案转移到硅片上。
高分辨率光刻胶/S1800系列光刻胶,这些正性光刻胶具有0.4-2.7um的胶厚范围,极限线宽可达0.5um,适用于小线宽双层胶lift-off工艺。SPR955系列光刻胶,这些正性光刻胶的胶厚范围为0.7-3.5um,极限线宽可达0.35um,粘附性好。ROL-7133光刻胶,国产负胶,适用于g/h/i-line光源,胶厚范围为2.2-4um,适用于lift-off工艺制造金属电极或导线。SUN-lift 1303光刻胶,国产负胶,同样适用于g/h/i-line光源,胶厚范围为2.2-4um,适用于lift-off工艺。PMMA 光刻胶,正性电子束光刻胶,高分辨率,适用于电子束光刻、二维材料转移、多层T-gate等工艺。AZ系列光刻胶:AZ 5214E光刻胶:正性薄胶,胶厚范围为1-1.6um,适用于双层胶lift-off工艺;AZ 4620光刻胶:正性厚胶,胶厚范围为3-60um,适用于干法/湿法刻蚀、电镀等工艺;AZ MIR 701/703光刻胶:高分辨率正胶,胶厚范围为0.7-1.4um,极限线宽0.5um;AZ nLOF 2000系列光刻胶:包括AZ nLOF 2020、AZ nLOF 2035、AZ nLOF 2070等型号,耐高温Lift-off光刻胶。SU-8光刻胶,高深宽比负胶,胶厚范围为0.5-650um,适用于绝缘层、微流控等工艺。SPR220系列光刻胶,常用正胶,胶厚范围为1-10um,适用于干法/湿法刻蚀、电镀等工艺。AZ 1500系列光刻胶,高分辨率正胶,胶厚范围为0.7-1.4.3um,极限线宽0.5um。底层胶、图形反转胶、电子束光刻胶、LOR光刻胶、PMGI SF光刻胶、Lift-off工艺光刻胶等,适用于不同的工艺需求,包括正性光刻胶、负性光刻胶、厚光刻胶、薄光刻胶、紫外光刻胶。
托托科技的光刻胶产品线非常丰富,能够满足不同半导体制造工艺的需求,从精细图案的制造到高深宽比的应用,都有相应的产品可以选择。
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