价格区间 | 面议 | 应用领域 | 电子/电池,电气,综合 |
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自动化度 | 半自动 |
晶锭非接触方阻测试仪介绍:
晶锭,也叫单晶硅棒,是一种纯度硅材料,在电子工业中被广泛应用。晶锭是一种长条状的半导体材料,通常采用Czochralski法或发明家贝尔曼的Float-Zone法制备,直径通常为200mm或300mm。方阻,全称是方块电阻(Sheet Resistance),指薄膜单位面积上的电阻,等于电阻率除以厚度,单位为Ω/□。方块电阻有一个特性,即任意大小的正方形边到边的电阻都是一样的,不管边长是1m还是1mm,它们的方阻都是一样。
对于硅材料,什么时候用电阻率,什么时候用方阻呢?
对硅晶圆或绝缘体上硅(SOI),规格书上通常用电阻率表征其基本电学参数。硅片一般分为高阻硅和低阻硅,高阻硅中的杂质浓度非常低,通常在1012cm-3以下,这使得高阻硅片的电阻率非常高,在103-106Ω·cm之间。相对于低阻硅,高阻硅的制造工艺极为难,电阻越高要求的硅的纯度越高,很多标称的高阻硅经过退火,电阻率都有一定程度的衰减。
方阻这个概念,主要是针对薄膜提出来的,它的提出使MEMS器件电学设计更为简便。它好比一个正方形方块积木,我们知道了方阻值,只要数出它的方块数(电阻的长除以宽),就很容易计算出总电阻。所以,方块和方阻的引入,极大了方便了设计和制造人员之间的沟通。对于多晶硅或者注入单晶硅,我们甚至不需要知道注入深度(结深),只需要测定方阻值,即可轻易完成电路部分的设计。
晶锭非接触方阻测试仪技术参数:
方阻(电阻率) |
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测片 |
量程:5~400Ω/sq(0.1~6Ω·cm) |
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测锭 |
量程:0.03~1Ω·cm |
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厚度:~1.6mm |
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采样率 |
60-1000SPS(1ms-16ms/点) |
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采样数据 |
上限400个点 |
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传输协议 |
Modbus Rtu/ Modbus Tcp、用户自定义SOCKET协议等 |
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尺寸 |
探头:Ф20×136mm |
控制盒:173×130×55mm |
PN探头 |
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采样率 |
60sps-500sps(2ms-16ms/点) |
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采样数据 |
上限200个点 |
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数据接口 |
RS485/CAN/TCP SOCKET |
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尺寸 |
Ф25×99mm |
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温度探头 |
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范围 |
-40℃~100℃ |
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精度 |
±1.5℃ |
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尺寸 |
Ф12×85mm |