在微电子与集成电路制造领域,精度与效率是永恒的追求。托托科技自主研发无掩模光刻机,以其革命性的高阶灰度光刻能力,为行业带来了变革。
一、重塑光刻工艺
托托科技自主研发无掩模光刻机融合了激光直写技术与DMD无掩模技术,实现了在材料表面直接进行高精度加工。这一技术突破,让我们告别了传统掩模版的束缚,迈入了高效、灵活的光刻新时代。
二、核心功能,彰显性能
灵活设计:无需掩模版,省去制版时间和成本,快速验证设计理念。
高精度加工:400 nm的加工精度,满足大多数高精度加工需求。
高效生产:1200 mm2/min的加工速度,2 m2的加工幅面,大幅提升生产效率。
灰度光刻:4096阶的灰度光刻能力,构建复杂细腻的微观结构。
三、特色功能,提升用户体验
直接绘图:快速实现设计图案的绘制,提高研发效率。
精准套刻:绿光指引,实现精准对准,确保光刻质量。
阵列光刻:快速确认工艺参数,节省用户时间。
主动对焦:实时对准,确保光刻聚焦清晰。
四、广泛应用,覆盖多个领域
托托科技无掩模光刻机广泛应用于科学研究、定制化生产、快速原型制造等领域,为电子器件、生物医药、光学元件、微机械等行业提供高效、灵活的解决方案。
五、推动行业发展,共创美好未来
托托科技无掩模光刻机的问世,不仅提升了微电子与集成电路制造领域的精度和效率,还为行业带来了灵活性。我们坚信,这款产品将助力我国微电子与集成电路制造业迈向更高水平,共创美好未来。
托托科技无掩模光刻机——一款创新产品,为您带来高效、精准、灵活的制造体验!