特点：
★ 测量温度宽，控温精度高
★ XYZ三轴方向移动，定位精度高
★ 真空漏率优秀，真空度高
★ 精密小巧，易于搬运
用途 ：
真空探针台测试仪 ，用于芯片，气敏元器件等在不同气氛环境下电学性能，也可用于材料分析。广泛应用于半导体电学性能测试、物理研究，气敏分析、集成电路、 LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究领等系统中的重要部件。
真空探针台测试仪 产品规格参数 ：
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项目 |
订货代码 |
VS21 -4 VS21 - 6 |
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主体 |
VS21
-4
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腔体材质：
AL6061(可定制SUS304腔体)
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VS21
-6
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探针组件（单组价格） |
Q2 |
气密型同轴接口探针夹具（普通型） |
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Q3 |
气密型三轴接口探针夹具（抗干扰性强，应用于半导体） |
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V2 |
真空型同轴接口探针夹具（普通型，需要抽真空时选择） |
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V3 |
真空型三轴接口探针夹具（抗干扰性强，应用于半导体，需要抽真空时选择） |
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探针规格 |
000T |
镀金， 50μm(可选：1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例：010T代表10μm尺寸的探针。 |
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信号线缆 |
R1 |
单头甩空线 |
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R2 |
双头线 |
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位移座 |
ST |
XYZ三轴位移尺寸(X± 12.5 mm、Y± 12.5 mm、Z± 10 mm） |
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高低温控制系统 |
H |
高温控制器 :常温～450℃，控制精度±0.25℃，分辨率0.1℃（进口温控） |
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L |
低温控制器 :-194℃～0℃，控制精度±0.25℃ |
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真空系统 |
MP |
机械泵（飞跃） :2.2L/S(真空度1*10 -1 Pa)（不包含真空计） |
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TP |
分子泵组（ Leybold ） : 9 0L/S(真空度5*10-5Pa) 复合真空计（ Leybold ): PTR90 (大气至5*10-7Pa) 主体需要采用 不锈钢材质，才能抽到高真空 |
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显微镜 |
PM |
体式显微镜 :ZOOM645S（环形光源） |
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CM |
CCD：200万像素 |
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DP |
戴尔显示器： 21寸 |
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SJ |
视频显微镜 +10寸显示屏 （ 1 00万像素 ） |
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附件 |
D20 |
液氮杜瓦罐 :20L（温度控制在-196℃- 室温可控 ） |
采购中心
化工仪器网