特点:
★ 升温速度可精确控制,精度达 ±0.25℃
★ 体积小巧,占地空间小
★ 真空漏率优秀,真空度高
★ 探针种类丰富,可根据用户需求进行定制
★ 模块化设计,可根据客户要求定制
用途 :
光电测试加热探针台测试仪 ,用于芯片、气敏元器件等在不同气氛环境下电学性能,也可用于材料分析。广泛应用于半导体电学性能测试、物理研究、气敏分析、锂电池测试、 LED、LCD、 二维材料测试、电镜扫描、 太阳能电池等行业的制造和研究领等系统中的重要部件 。
光电测试加热探针台测试仪 产品规格参数 :
项目 |
订货代码 |
H R 2 4 -4 |
H R 2 4 -6 |
主体 |
HR24
-4
|
腔体材质:
AL6061 (可定制
SUS304
腔体
)
通光口直径: φ5 mm |
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H
R
2
4
-6
|
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探针组件(单组价格) |
V 2 |
真空型同轴接口探针夹具(普通型,需要抽真空时选择) |
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V 3 |
真空型三轴接口探针夹具(抗干扰性强,应用于半导体,需要抽真空时选择) |
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探针规格 |
000T |
镀金, 50μm(可选:1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例:010T代表10μm尺寸的探针。 |
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信号线缆 |
R1 |
单头甩空线 |
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R2 |
双头线 |
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水冷机 |
W |
温度 高于 2 00℃范围需要配置水冷机 |
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高温控制系统 |
H |
高温控制器 : RT ~ 600 ℃,控制精度±0.25℃,分辨率0.1℃ |
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真空系统 |
MP |
机械泵(飞跃) :2.2L/S(真空度1*10 -1 Pa)(不包含真空计) |
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TP |
分子泵组( Leybold ) : 9 0L/S(真空度5*10-5Pa) 复合真空计( Leybold ): PTR90 (大气至5*10-7Pa) 主体需要采用 不锈钢材质,才能抽到高真空 |
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显微镜 |
PM |
体式显微镜 :ZOOM645S(环形光源) |
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CM |
CCD:200万像素 |
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DP |
戴尔显示器: 21寸 |
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SJ |
视频显微镜 +10寸显示屏 ( 1 00万像素 ) |
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光催化氙灯光源 |
XL |
CEL-PF300-T6(20个太阳光) |